半导体材料
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光刻版
光刻掩膜版是光刻工艺中重要的材料之一,业内又称光罩版,掩膜版,光刻版。 光刻版类型:石英基片、苏打玻璃基片、菲林版
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光刻版类型 ·石英基片
·苏打玻璃基片
·菲林版
工艺能力 ·2.5英寸-9英寸可定制
·苏打版精度±0.3um
·石英版精度±0.1um
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