2026.09.17
微纳加工中的硅湿法腐蚀工艺技术解析
在微机电系统、微纳传感器、半导体微细加工领域，硅基微结构的精密成型是核心工艺环节。相较于干法刻蚀，硅湿法腐蚀凭借成本低廉、加工效率高、可批量加工、表面损伤小等优势，成为微纳加工中制备硅凹槽、通孔、悬臂梁、微通道等结构的基础工艺，广泛应用于中小尺寸、高精度硅微器件的批量制造。该工艺依托固液界面可控化学反应实现硅材料去除，工艺稳定性与可控性直接决定微纳器件的尺寸精度与良品率。硅湿法腐蚀的核心原理是利用
