2025.06.11
微纳加工中的掺杂技术：原理、应用与未来挑战
微纳加工技术作为现代半导体工业的核心，其发展水平直接决定了集成电路的性能和集成度。在众多微纳加工工艺中，掺杂工艺因其能够精准调控半导体材料的电学性能而占据着不可替代的地位。随着半导体器件尺寸不断缩小至纳米尺度，掺杂工艺面临着前所未有的挑战和机遇。本文将系统探讨掺杂工艺在微纳加工中的重要性，分析其对半导体材料性能的影响机制，并展望其未来发展趋势。一、掺杂工艺的基本概念和原理掺杂工艺是指在半导体材料中
