2025.04.29
微纳加工中的刻蚀工艺：从湿法到干法的技术与应用
微纳加工中的刻蚀工艺是制造微米和纳米尺度结构的关键技术之一，主要用于选择性去除材料以形成所需的图案或结构。刻蚀工艺可分为湿法刻蚀和干法刻蚀两大类，各有特点和应用场景。以下是详细解析：1. 湿法刻蚀（Wet Etching）原理：利用化学溶液与待刻蚀材料发生反应，生成可溶性产物，从而去除材料。特点：各向同性刻蚀：通常横向和纵向刻蚀速率相近，导致钻蚀现象
